第五十三章 追光行动（3）
会议室里的气氛变得沉重，大佬们纷纷叹息着，一个个说着难处。
世纪初中国研究光刻机的难处具体有哪些，他们心中都有一本账。
徐端颐首先开口，他的声音中透露出一丝无奈：“首先，高精度的光学系统我们国内几乎是空白，从头发展，三五年内都别想有所成果，依赖进口是唯一的选择。
但一旦我们的光刻机成型，别人很可能不会卖给你的。”
黄令仪接着补充道：“其次，光刻机中的精密机械部件，我们国内的加工精度和质量控制达不到要求。
即便是有了设计图纸，没有相应的制造工艺，也是巧妇难为无米之炊。”
王守武也摇了摇头：“再有，就是人才问题。光刻机的研发需要跨学科的高端人才，而这方面的人才储备，我们远远不足。
即便是有心培养，也不是一朝一夕能够见效的。”
严晓浪则是一脸严肃：“还有，就是研发资金的问题。光刻机的研发周期长，投入巨大，而且风险极高。
没有持续稳定的资金支持，研发工作很难持续进行。”
黎光楠叹了口气：“最关键的是，我们缺乏经验积累。
光刻机的研发涉及到众多的技术和工艺，这些都是需要通过长期的实践和探索才能积累起来的。”
在座的每一位大佬都清楚，这些难处，每一个都足够让一个国家的研发项目停滞不前，更何况是当时的华国，几乎是从零开始。
研发光刻机的难度，远远超出了他们的预期，在卿云之前的‘商业思维’模式科普下，他们很清楚这不仅是技术上的挑战，更是整個产业链的挑战。
而此时，卿云却在台上拍了拍手掌，试图提振一下气氛：“诸位前辈，我理解大家的顾虑，但请相信，我既然敢提出这个计划，自然有我的准备。”
他环视了一圈，继续说道：“我准备分成两步走。
第一步，由徐老爷子带人……老爷子，不要去管核心零部件国产率是多少的问题，你先给我造出来，在国际上先声夺人。
随后，阿美莉卡封锁我们是必然的。但它要封锁就封锁他们的，核心零部件我会先一步的囤货……
这些商业化运作你们不要管了，你们只管造出来，剩下的事情，全部交给我。”
黎光楠皱了皱眉，提出了一个关键问题：“小卿，知识产权怎么办？我们不能不考虑这个问题。”
卿云笑了笑，他的回答中带着一丝狡黠，“当年钱老爷爷也没管什么知识产权不产权的，造出来才是硬道理。
如果……”
他看向了那边皱着眉头沉思的徐端颐，“如果徐老爷子能够快速的把浸没式光刻机造出来，将来这官司有的打。”
尽管鹰子有‘你们使用了我们未来拥有的技术’这种拳法，但造出来后你管我怎么玩？！
你封锁你的，我卖我的产品就是了。
说罢，望着一脸决绝的徐老爷子，云帝赶紧补了一句，“老爷子，我知道您急，但您先别急。
晚点出来也无所谓的。让樱花的干式光刻机先出来，也不是不可以的。”
“伱……”徐端颐刚想喷他一句‘落后谁也不能落后樱花’的，突然自己反应了过来。
人老成精，能平安跑完上世纪那几次运动会并且在现在担任要职的科学家，都是通晓世事的老运动员了，这里面的弯弯绕绕，他们立刻就琢磨了出来。
而后，一众大佬的眉头开始跳着舞，大王先生更是抚掌笑道，“晚点好！晚点好啊！”
黎光楠神色古怪的望着台前这个自己的便宜徒弟，心里琢磨着，要不是这小子本职是个企业家，他都想干脆正儿八经收成关门弟子算了。
做科研，天赋之外，还得有眼光或者说是运气，否则走错了路，一辈子也就蹉跎了。
而这小子，无疑眼光或者是运气，都是逆天的。
接着，卿云的语气变得严肃，“不过，徐老爷子，还是要快，留给我们的时间并不多。”
徐端颐闻言，眼中闪过一丝坚定的光芒，“小卿，你放心，我这条命豁出去了。”
卿云点了点头，然后继续说道：“第二步，各大科研机构挑大梁，对各个子系统进行攻关，力争在5年内实现国产化率超过50%的目标。
再多的，无非是时间问题。
钱，你们不用考虑。至于基础材料什么的，我会启动另外一个计划来解决，绝对不会短科研一个材料。”
他的话语中透露出强大的自信和决心，让在座的各位大佬都感到了一种前所未有的振奋。
那边的黄令仪此时却给他破了一盆冷水，“小卿，不要盲目乐观。并不是有光刻机就‘大功告成’，可以开始‘印芯片’了。
光刻机更像是中间执行的环节，而在执行前后，还需要很多同样重要的工作，比如说计算光刻和量测。”
术业有专攻，她担心其他做元件和器件的同行不懂，进一步开口解释着，
“计算光刻指的是利用各种物理，化学和数学模型去计算模拟真实光刻发生的过程和结果。
通过修改各种参数，寻找最优的参数组合来修正掩膜板的图形和光源形状，来提升光刻的质量。
这种模拟仿真的思路类似造飞机的时候需要经过很多次的风洞实验，都通过之后才能进行真正的试飞，否则既危险又成本高昂。
计算光刻已经成为现代光刻技术研发的核心和最重要的环节之一。”
那边的徐端颐也补充着，“量测，就是进行芯片的缺陷检测，判断芯片是否合格。
一个晶圆的制作可能包含近百次的曝光，由于每次曝光的间隔都需要对晶圆进行移动调整，为了保证移动的稳定和精准，避免出现小至几纳米的误差导致芯片报废，就需要不断的对晶圆在纳米尺度做量测，并且实现校正和结果的反馈，从而不断的提升良率……”
徐端颐的话还没说完，就被卿云展示出来的PPT给打断了，而后一脸便秘的望着台前正无良笑着的少年。
狗日的！
你便宜老师科普的时候你不打断，我特么说话的时候你就来打脸是吧！
手里的茶杯盖子都想呼在那臭屁小子的脸上了。
太不尊老了！
台上的卿云嘿嘿的笑着，“集成电路制造的主要流程大概是，OPC、SMO计算光刻-涂胶-曝光-显影-刻蚀-离子注入-光刻胶移除-沉积-下一层制程-量测检验。
这十大工序，如同上面光刻机器的七大系统，我都进行了考虑和安排……”
徐端颐的内心虽然被卿云突如其来的PPT展示打断而感到有些尴尬，但随即他的心中却涌起了一股莫名的欣喜。
他心中暗自思忖：“这小子，确实有两把刷子。这种打脸，打得我舒坦。这说明了，他确实对各个环节都了如指掌，并且一一做了预案。”
徐端颐望着卿云的眼神中，不禁流露出了赞许的神色。
他知道，卿云的准备充分，意味着整个项目的成功概率将会大大提高。
在科研领域，一个详尽的预案往往能够决定一个项目能否顺利进行。
这种被后辈以实力打脸的感觉，让他既感到有些没面子，但同时也感到欣慰。
他明白，他们已经老了，甚至这里坐着的不少人，其实已经到了油尽灯枯的年纪。
科研的未来需要依靠这些有准备、有远见的年轻人，而卿云，无疑是其中的佼佼者。
“小卿，你这准备……做得好！”
徐端颐毫不掩饰自己的赞赏，他的声音中透露出一丝宽慰，“有你这样的年轻人在，我们这些老骨头也就放心了。”
云帝微微一笑，他知道，这些前辈们的认可，是他前行路上最宝贵的支持。
他点了点头，认真地说道，“徐老爷子，您放心，我会尽我所能，确保每一步都走得稳健。”
那边一直没有说话的王守觉，此时皱着眉头问着，“小卿，我有个疑问，你能不能给我解惑？”
给大佬解惑？
面对华国半导体界的‘小王先生’，云帝自然是不敢这么托大的，请‘小王先生’但说无妨。
王守觉也没有客气什么，“小卿，你在开始就一直在向我们灌输商业循环的概念。
但是，涉及到光刻机的时候，我感觉……你仿佛并没有考虑光刻机本身的商业化。
因为你的讲解和方案里面，第一我没有看见你让小徐去规避专利技术，第二我也没有看见方案里面有集成化的参与。
你是不是漏了什么？”
说到这里，他赶紧摆了摆手，解释了一句，“我不是在质疑你的纲领和方案，只是觉得有些奇怪。呃……我不知道你是不是遗漏了。”
王守觉这么一说，倒是点醒了众多大佬，分分翻看着方案。
这个确实有瑕疵了。
光刻机最难的一步，便是整合。
卿云在台上无奈的笑了笑，“你们不用翻了，我就没有考虑过光刻机商业化的问题。”
他耸了耸肩膀，“各位前辈，你们认为我们造出来光刻机后，短期内能出口吗？”
说到这里，他双手一摊，“这都不是鸡和蛋的问题了。我认为，以终为始，只要我能把芯片造出来，里面采用的什么技术，我不关心。
反正我又不卖光刻机。
而光刻机器是什么形态的我不介意，哪怕你们造出来的，跟个足球场那么大，我也无所谓的。”
众人闻言，目瞪口呆。
而重生的云帝却觉得有点寂寞。
“诸位前辈，你们有没有注意到，除了浸没式光刻机外，我提及光刻机时，后面都加了个‘器’字。
我再说明白一点，哪怕你们造出来的光刻机器不能像ASML、尼康佳能的光刻机一样可以移动都行，我直接在机器旁边建厂。”
华清大学的SSMB光刻工厂方案，放在西方是垃圾，但是结合华国的国情，却是一条最正确的路。
光刻机的小型化是为了商业化，以便运到各个生产厂里面去。
但是，在云帝看来，将光刻工厂国有化，变成一个基础建设设施，是最符合国情的。
如此，芯片这种未来战备性物质，国家也不必担心过渡商业化导致的资源损耗和不听号令。
没法子，华国实在是太大了。
人也太多了，英雄辈出的同时，特么的汉奸也不少，有的时候真的保不齐有这种为了钱为了什么命都不要的人。
可华清大学的SSMB方案，超出云帝的知识储备了，他也没办法还原出来，毕竟术业有专攻的。
不过，以他今时今日的咖位，将思路方向提出来后，自然有人会将这个想法去验证下去。
专业的事情交给专业的人去做。
既然前世华清大学的那群老阴比都能琢磨出这个方案来，自己提前十来年将方向提出来，没道理他们做不出来。
……
(本章完)
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徐端颐首先开口，他的声音中透露出一丝无奈：“首先，高精度的光学系统我们国内几乎是空白，从头发展，三五年内都别想有所成果，依赖进口是唯一的选择。
但一旦我们的光刻机成型，别人很可能不会卖给你的。”
黄令仪接着补充道：“其次，光刻机中的精密机械部件，我们国内的加工精度和质量控制达不到要求。
即便是有了设计图纸，没有相应的制造工艺，也是巧妇难为无米之炊。”
王守武也摇了摇头：“再有，就是人才问题。光刻机的研发需要跨学科的高端人才，而这方面的人才储备，我们远远不足。
即便是有心培养，也不是一朝一夕能够见效的。”
严晓浪则是一脸严肃：“还有，就是研发资金的问题。光刻机的研发周期长，投入巨大，而且风险极高。
没有持续稳定的资金支持，研发工作很难持续进行。”
黎光楠叹了口气：“最关键的是，我们缺乏经验积累。
光刻机的研发涉及到众多的技术和工艺，这些都是需要通过长期的实践和探索才能积累起来的。”
在座的每一位大佬都清楚，这些难处，每一个都足够让一个国家的研发项目停滞不前，更何况是当时的华国，几乎是从零开始。
研发光刻机的难度，远远超出了他们的预期，在卿云之前的‘商业思维’模式科普下，他们很清楚这不仅是技术上的挑战，更是整個产业链的挑战。
而此时，卿云却在台上拍了拍手掌，试图提振一下气氛：“诸位前辈，我理解大家的顾虑，但请相信，我既然敢提出这个计划，自然有我的准备。”
他环视了一圈，继续说道：“我准备分成两步走。
第一步，由徐老爷子带人……老爷子，不要去管核心零部件国产率是多少的问题，你先给我造出来，在国际上先声夺人。
随后，阿美莉卡封锁我们是必然的。但它要封锁就封锁他们的，核心零部件我会先一步的囤货……
这些商业化运作你们不要管了，你们只管造出来，剩下的事情，全部交给我。”
黎光楠皱了皱眉，提出了一个关键问题：“小卿，知识产权怎么办？我们不能不考虑这个问题。”
卿云笑了笑，他的回答中带着一丝狡黠，“当年钱老爷爷也没管什么知识产权不产权的，造出来才是硬道理。
如果……”
他看向了那边皱着眉头沉思的徐端颐，“如果徐老爷子能够快速的把浸没式光刻机造出来，将来这官司有的打。”
尽管鹰子有‘你们使用了我们未来拥有的技术’这种拳法，但造出来后你管我怎么玩？！
你封锁你的，我卖我的产品就是了。
说罢，望着一脸决绝的徐老爷子，云帝赶紧补了一句，“老爷子，我知道您急，但您先别急。
晚点出来也无所谓的。让樱花的干式光刻机先出来，也不是不可以的。”
“伱……”徐端颐刚想喷他一句‘落后谁也不能落后樱花’的，突然自己反应了过来。
人老成精，能平安跑完上世纪那几次运动会并且在现在担任要职的科学家，都是通晓世事的老运动员了，这里面的弯弯绕绕，他们立刻就琢磨了出来。
而后，一众大佬的眉头开始跳着舞，大王先生更是抚掌笑道，“晚点好！晚点好啊！”
黎光楠神色古怪的望着台前这个自己的便宜徒弟，心里琢磨着，要不是这小子本职是个企业家，他都想干脆正儿八经收成关门弟子算了。
做科研，天赋之外，还得有眼光或者说是运气，否则走错了路，一辈子也就蹉跎了。
而这小子，无疑眼光或者是运气，都是逆天的。
接着，卿云的语气变得严肃，“不过，徐老爷子，还是要快，留给我们的时间并不多。”
徐端颐闻言，眼中闪过一丝坚定的光芒，“小卿，你放心，我这条命豁出去了。”
卿云点了点头，然后继续说道：“第二步，各大科研机构挑大梁，对各个子系统进行攻关，力争在5年内实现国产化率超过50%的目标。
再多的，无非是时间问题。
钱，你们不用考虑。至于基础材料什么的，我会启动另外一个计划来解决，绝对不会短科研一个材料。”
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那边的黄令仪此时却给他破了一盆冷水，“小卿，不要盲目乐观。并不是有光刻机就‘大功告成’，可以开始‘印芯片’了。
光刻机更像是中间执行的环节，而在执行前后，还需要很多同样重要的工作，比如说计算光刻和量测。”
术业有专攻，她担心其他做元件和器件的同行不懂，进一步开口解释着，
“计算光刻指的是利用各种物理，化学和数学模型去计算模拟真实光刻发生的过程和结果。
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这种模拟仿真的思路类似造飞机的时候需要经过很多次的风洞实验，都通过之后才能进行真正的试飞，否则既危险又成本高昂。
计算光刻已经成为现代光刻技术研发的核心和最重要的环节之一。”
那边的徐端颐也补充着，“量测，就是进行芯片的缺陷检测，判断芯片是否合格。
一个晶圆的制作可能包含近百次的曝光，由于每次曝光的间隔都需要对晶圆进行移动调整，为了保证移动的稳定和精准，避免出现小至几纳米的误差导致芯片报废，就需要不断的对晶圆在纳米尺度做量测，并且实现校正和结果的反馈，从而不断的提升良率……”
徐端颐的话还没说完，就被卿云展示出来的PPT给打断了，而后一脸便秘的望着台前正无良笑着的少年。
狗日的！
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台上的卿云嘿嘿的笑着，“集成电路制造的主要流程大概是，OPC、SMO计算光刻-涂胶-曝光-显影-刻蚀-离子注入-光刻胶移除-沉积-下一层制程-量测检验。
这十大工序，如同上面光刻机器的七大系统，我都进行了考虑和安排……”
徐端颐的内心虽然被卿云突如其来的PPT展示打断而感到有些尴尬，但随即他的心中却涌起了一股莫名的欣喜。
他心中暗自思忖：“这小子，确实有两把刷子。这种打脸，打得我舒坦。这说明了，他确实对各个环节都了如指掌，并且一一做了预案。”
徐端颐望着卿云的眼神中，不禁流露出了赞许的神色。
他知道，卿云的准备充分，意味着整个项目的成功概率将会大大提高。
在科研领域，一个详尽的预案往往能够决定一个项目能否顺利进行。
这种被后辈以实力打脸的感觉，让他既感到有些没面子，但同时也感到欣慰。
他明白，他们已经老了，甚至这里坐着的不少人，其实已经到了油尽灯枯的年纪。
科研的未来需要依靠这些有准备、有远见的年轻人，而卿云，无疑是其中的佼佼者。
“小卿，你这准备……做得好！”
徐端颐毫不掩饰自己的赞赏，他的声音中透露出一丝宽慰，“有你这样的年轻人在，我们这些老骨头也就放心了。”
云帝微微一笑，他知道，这些前辈们的认可，是他前行路上最宝贵的支持。
他点了点头，认真地说道，“徐老爷子，您放心，我会尽我所能，确保每一步都走得稳健。”
那边一直没有说话的王守觉，此时皱着眉头问着，“小卿，我有个疑问，你能不能给我解惑？”
给大佬解惑？
面对华国半导体界的‘小王先生’，云帝自然是不敢这么托大的，请‘小王先生’但说无妨。
王守觉也没有客气什么，“小卿，你在开始就一直在向我们灌输商业循环的概念。
但是，涉及到光刻机的时候，我感觉……你仿佛并没有考虑光刻机本身的商业化。
因为你的讲解和方案里面，第一我没有看见你让小徐去规避专利技术，第二我也没有看见方案里面有集成化的参与。
你是不是漏了什么？”
说到这里，他赶紧摆了摆手，解释了一句，“我不是在质疑你的纲领和方案，只是觉得有些奇怪。呃……我不知道你是不是遗漏了。”
王守觉这么一说，倒是点醒了众多大佬，分分翻看着方案。
这个确实有瑕疵了。
光刻机最难的一步，便是整合。
卿云在台上无奈的笑了笑，“你们不用翻了，我就没有考虑过光刻机商业化的问题。”
他耸了耸肩膀，“各位前辈，你们认为我们造出来光刻机后，短期内能出口吗？”
说到这里，他双手一摊，“这都不是鸡和蛋的问题了。我认为，以终为始，只要我能把芯片造出来，里面采用的什么技术，我不关心。
反正我又不卖光刻机。
而光刻机器是什么形态的我不介意，哪怕你们造出来的，跟个足球场那么大，我也无所谓的。”
众人闻言，目瞪口呆。
而重生的云帝却觉得有点寂寞。
“诸位前辈，你们有没有注意到，除了浸没式光刻机外，我提及光刻机时，后面都加了个‘器’字。
我再说明白一点，哪怕你们造出来的光刻机器不能像ASML、尼康佳能的光刻机一样可以移动都行，我直接在机器旁边建厂。”
华清大学的SSMB光刻工厂方案，放在西方是垃圾，但是结合华国的国情，却是一条最正确的路。
光刻机的小型化是为了商业化，以便运到各个生产厂里面去。
但是，在云帝看来，将光刻工厂国有化，变成一个基础建设设施，是最符合国情的。
如此，芯片这种未来战备性物质，国家也不必担心过渡商业化导致的资源损耗和不听号令。
没法子，华国实在是太大了。
人也太多了，英雄辈出的同时，特么的汉奸也不少，有的时候真的保不齐有这种为了钱为了什么命都不要的人。
可华清大学的SSMB方案，超出云帝的知识储备了，他也没办法还原出来，毕竟术业有专攻的。
不过，以他今时今日的咖位，将思路方向提出来后，自然有人会将这个想法去验证下去。
专业的事情交给专业的人去做。
既然前世华清大学的那群老阴比都能琢磨出这个方案来，自己提前十来年将方向提出来，没道理他们做不出来。
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